给出的选择,大家好像除了认同,也没别的办法了。
而且方年明确表示为了完全解决这两件事情,前沿将出面联合共计上百个组织单位、研究所、研究中心,形成第一道学、研、产技术链。
其中含国内工科大学十一所,包括哈工大、哈工程、西北工业、上交等老牌工科院校。
更包括中科、军科、工程三院各下属研究所,比如长光所等。
还包括哈工大前沿院的十几个交叉研究中心。
其次,前沿出面,面向海外收购相关企业、技术、专利授权形成第二道技术链。
包括光源制造、电子束测量、光学镜头等等等等。
当然,其中DUV光刻也会有一定量的技术受益。
EUV面向未来,DUV面向当下。
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